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特种气体广泛应用于半导体制造行业,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体中包含了大量的有毒、有害的危险性大的气体,因此,特种气体的使用和贮存有别于普通的工业气体。

    特种气体按性质分类:腐蚀性气体、易燃性气体、氧化氧气体、惰性气体、有毒性气体


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